3um Sustrato de Silicio Interdigital Electrodo Capacitivo de la Matriz de MEMS de Alta Precisión de Gas Fotosensibles Biosensor Chip

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3µm de silicio Monocristalino de la horquilla se refiere a los electrodos del condensador de la matriz de MEMS de alta precisión de gas fotosensibles biosensor chip

1. Dimensiones externas: 4mm*4.3 mm*0.52 mm.

2. Ancho de línea: 5µm; interlineado: 3µm; longitud: 1.4 mm; de la cruz: registro de: 140(280).

3. El electrodo de sustrato de silicio monocristalino, y SiO2 crece en la superficie de la oblea de silicio con un espesor de 300 nm;

4. La capa de Metal de la estructura: Cr/Au, con un espesor de 10 nm y 100 nm, respectivamente;

5. Electrodo rango de temperatura: -150 C~500 C;

6. La resistencia de los electrodos es mayor que 100 t Ω (64%) a temperatura ambiente, la humedad;

7. Principalmente utilizado para diversos químicos, físicos y sensores médicos, con un rendimiento fiable y estable de calidad.

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3um Sustrato de Silicio Interdigital Electrodo Capacitivo de la Matriz de MEMS de Alta Precisión de Gas Fotosensibles Biosensor Chip

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